金华电子工业用氨气重金属含量检测机构

信息编号：43677498 发布时间：2023/9/27 14:55:43

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超纯氨气微量水分分析?
　　超高纯度气体中微量水分的分析是挑战性的，尤其对半导体产业而言，气体中只要有十亿分之几的水分就可造成硅片上的瑕疵[2]。所以半导体制造商要求气体供应商确保水分含量不能大于（1～10）×10-9。而且氨气为有毒、高腐蚀性气体，这就要求微量水分不仅应具有高灵敏度、准确度和快速的响应速度，而且要能够经受腐蚀性气体，现有的仪器很难满足所有这些要求。而采用光腔衰荡光谱对超纯氨中微量水分进行分析是少数能达到上述要求的一种基于激光的光谱技术。分析谱图如下图所示。?
　　光腔衰荡光谱法是用单模连续激光使高反射镜面组成的光腔储存能量增加，在切断光源后，储存的能量就会随时间而衰减，衰减的速度与光腔的损失（透射+散射+分子吸收）有关。被测分子的密度可以通过测量两个激光频率下的衰荡速度来决定：一个是在吸收峰的衰荡速度τ（ν），另一个是没有吸收时的衰荡速度 τempty?
　　式中：?
　　τempty―没有吸收时的衰荡时间常数；?
　　τ（ν）―在激光频率ν时的衰荡时间常数；?
　　σ（ν）―分子在激光频率ν时的吸收截面；?
　　c―光速；?
　　N―分子密度，与浓度成正比。如式（1）所示，气体中痕量水分含量取决于两个“时间”的测量[3]。光腔衰荡光谱法检测超纯氨中微量水分含量不仅具有高灵敏度，快的响应速度，高的精度，检测下限可达10-9级浓度等特点，且还具有自动校正功能，没有耗材，维护成本低，使用方便。

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